罗茨真空泵 抽气速度：30,000L/min 适合轻制程 Model ESA系列是新研发的独特干式真空泵，具有优 越的高速排气性能，从而适应了LCD溅射制膜 装置，真空干燥制程，大型 L/L等工艺要求。并拥有高附加价值，对应气体 负荷自动控制转速，高通信功能等。
特点:
● 最适用于大型真空反应室的高速排气
● 具有高性能通信机能
● 转速自动调节功能
● 采用高度控制泵运转方式
● 采用大口径转子，设计上完美小型
● 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降低
● 也可用于有机溶剂排气上用的特别规格
| Model ESA系列 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Model | ESA15-D | ESA25-D |
ESA70W(-D) ESA70WN(-D) |
ESA80W-HDF ESA80WN-HDF |
ESA100W ESA100WN |
ESA200W | ESA300W | ESA500W |
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Pumping-Speed (L/min)(50Hz/60Hz) |
1,400/1,700 | 2,500/3,000 | 7,000/8,400 | 8,400 | 10,000 | 20,000 | 28,000/30,000 | 47,000/50,000 |
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*Typical Application |
MO-CVD -Large volume load lock- Other clean vacuum |
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