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荏原Model EV-S

编号:SD161666129591
售价: 99*******00
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购买数量:
EV-S机型是按SEMI工业标准设计的一款罗茨干式真空泵,主要应用于轻制程的应用,具有能耗低和能效高的特点。EV-S型泵采用了多种先进技术,如可调抽速,休眠和怠速功能,同时具有先进的安全报警功能以及可选配的耐腐蚀材料。

产品特点:

  • 占用空间小、重量轻、低功耗
  • 根据工艺应用灵活选择各种配置(EV-S*P型:含氮气吹扫,EV-S*N型:含镍合金材料+氮气吹扫)
  • 直流电机驱动不受频率影响,提供了更低的能耗和相同的抽气性能
  • 在高压力下,独特的排气设计也能保证抽气能力
  • 先进的预警和报警数据存储功能
  • 手动预警设置(可编程的LCD控制器)
  • 先进传感器配置减少产品停机时间
  • 适用于SEMI-S2 / CE/ NRTL标准
Model EV-S系列
Model EV-S20(P/N) EV-S50(P/N) EV-S100(P/N) EV-S200(P/N)
Pumping Speed(L/min) 1,670 5,000 10,000 20,000

Power Consumption(kW)

(at ultimate pressure)

0.40 0.55 0.65 0.75
Dimension(W×D×H mm) 230×450×274 230×450×520 260×510×520 275×650×580
Mass(kg) 60 100 120 170

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