这种集成泵结构紧凑，专为弹性集成到半导体生产设施中而开发。该系列紧凑型泵专为直接安装在工具或晶圆厂的底层地板上而设计，可实现频繁而快速的抽真空循环。它是用于装载互锁和传输室以及所有其他非腐蚀性应用的完美解决方案。
针对高吞吐量应用的全新解决方案
普发真空引入了用于高吞吐量应用和频繁抽空循环的全新 200 m3/h 级别产品 A 200 L，再次展示出了其在集成干式泵市场中的全球领导地位。凭借着 100 m3/h 级别产品 A 100 L 和 200 m3/h 级别产品 A 200 L，普发真空针对各种装载互锁和传输室提供了完整的产品种类。
最先进技术水平的泵
A 100 L 泵引入市场后，半导体行业生产设施的泵集成发生了革命性变化。这种泵以干式多级罗茨泵技术为基础，尽管尺寸小，却依然具有高抽速和短抽空时间。如今，集成化轻型泵是最先进的，且 A 200 系列在全世界范围内众多 300 mm 半导体晶圆工厂里进行了安装。
用于装载互锁和传输室应用
在诸如装载互锁和传输室等轻型应用中，这些泵排除了泵安装中的真空管路影响。通过使用集成泵，真空管路安装、集成和调试的成本降低。该泵在生产过程中提供可重复性能且具有能源效率。高可靠性和长期稳定性使该集成泵脱颖而出。
集成泵——不仅仅用于半导体行业
额外的优点还包括低噪音和低振动。就像 ACP 系列一样，这种紧凑型泵可以用于回收或循环高价值气体。紧凑尺寸确保在生产设施内可以轻松集成。
| E/A接口 | 16针SPI |
| 允许冷却水的温度 | 10 – 35 摄氏度 |
| 典型振动加速度 （入口法兰处 10–1000 Hz） | < 0.23 g |
| 典型最终压力 | 1.3 · 10-2 百帕 |
| 冷却水消耗最小值 | 1.6 l/min |
| 冷却水耗量 | Minimum: 96 l/h |
| 冷却 | 水 |
| 声压水平 | 58 分贝 (A) |
| 尺寸（长 x 宽 x 高） | 656 x 300 x 280 毫米 |
| 抽速 | 200 m³/h | 117.72 cfm | 3,333.33 l/min |
|
最高排气压力 |
1200 百帕 |
| 最大循环频率 | 240 周期/小时 |
| 最大泵容积 | 1 立方米 |
| 最大连续进气 | 25 slpm (0 °C) |
| 最终压力时的功率消耗 | 1千瓦 |
| 防护等级 | IP33 |
| 电源电压（3 相） | 200 – 230 V |
| 电源连接: | 200 – 230 (±10%) V AC 50/60 Hz - 三相 |
| 连接法兰（入口） | DN 50 ISO-KF |
| 连接法兰（出口） | DN 25 ISO-KF |
| 转速 | 1,200-5,400 rpm | 1,200-5,400 min-1 |
| 频率 | 50-60 Hz |
