罗茨式干式真空泵
抽气速度：1,300 – 30,000L/min ESR系列是新研发的应用广泛的罗杆式干式真空泵，对于L/L，SEM等较轻负荷的制程和腐蚀性制程都可以使用。
性能上具有 排气速度可调节，高通信处理功能，从而适应了省功耗，占地面积小，重量轻的工艺要求。
特点:
● 最适合用于轻负荷的制程及腐蚀性气体制程
● 较低的运行成本，省功耗，最大可节省60%（与本公司Model AA系列相比较）
● 无需N2来做轴密封（Model ESR20N）
● 小型化，重量轻，最大减少40%（ 与本公司Model AA系列相比较）
● 增加泵的转速控制
● 高性能的通信机能
● 采用高度控制泵的运转方式
| Model ESR系列 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型号 | 单位 | ESR20N | ESR80WN | ESR200WN | ESR300WN |
| 抽气速度 50/60 Hz | L/min | 1,300 – 2,000 | 4,000 – 8,500 | 10,000 – 20,000 | 30,000 |
| 底压 50/60 Hz | Pa | 0.67 | 0.2 | 0.13 | 0.2 |
| 到达底压 时的功率 | KW | 0.55 – 0.70 | 0.8 – 1.9 | 0.8 – 1.1 | 2.9 |
| 外型尺寸 | mm | 635 x 280 x 320 | 660 x 380 x 655 | 790 x 380 x 644 | 825 x 460 x 880 |
| 重量 | kg | 90 | 180 | 250 | 390 |
