螺旋式真空泵 抽气速度：2,500-50,000L/min 适用于生成物较多的重制程 Model EST系列是新研发的独特干式真空泵，采用了螺旋式转子，适用于生成物较多的CVD制程。 具有高附加价值：容许流入气体量大，耐腐蚀性，可调节排气速度，高通信处理功能，适应了 电力功耗低的工艺要求。
特点:
● 最适用于生成物较多的制程
● 具备高性能通信功能
● 排气速度快，容许流入气体量大
● 采用高度控制泵运转方式
● 转速自动调节功能
● 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降 低的问题
● 可对应腐蚀性气体
| Model EST系列 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Model | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | ESR300WN | EST500W |
|
Pumping Speed (L/min) |
1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 |
